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ASML挑战摩尔定律极限, 已基本完成 1nm 光刻机设计!
说到光刻机,绝对是国产芯片之路的痛点,也是卡住芯片的关键。目前国产只能做到90nm光刻机,很多人疑惑,上海微电子不是突破了22nm?是的,但上海微电子完成的是22nm光刻机的研制工作,还没有量产,计划2021年交付首台国产22nm的光刻机。
最近,ASML传来的消息,再次警醒我们,不要太乐观,照目前进度来看,国产光刻机与ASML之间至少有几十年的差距。
IMEC和ASML一直强强联合,合作开发EUV光刻技术,不久前,IMEC公司首席执行官透露,通过与ASML公司合作,将下一代高分辨率EUV光刻技术——高NA EUV光刻技术商业化。还强调,将继续把工艺规模缩小到1nm及以下。
国外很多半导体公司都声称摩尔定律已经走到了尽头,没成想ASML根本没放弃,按照透露的信息似乎进展还不小,国产光刻机之路任重而道远呀。
(责任编辑:杨丹丹)
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